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2020 年10月13–16日
深圳国际会展中心(宝安新馆)

雷尼绍inVia拉曼光谱仪“一次测量”便可精准验证

来源: AMTech
2019-03-26

SCA

雷尼绍作为最早实现拉曼光谱与扫描电镜联用的厂家之一,其设计的两种设备的连接接口—化学与结构分析仪(SCA)具有非常高的灵活性,可实现市面上电镜制造厂商多种常用型号的SEM与雷尼绍inVia拉曼光谱仪的连接。

SCA提供了一种SEM内的分析技术,补充了光学显微镜为基础的拉曼光谱学,克服了SEM内传统的分析技术EDS的部分局限性,可原位完成Raman、SEM、EDS、CL、PL几种测量,即一次测量可得到样品的纳米形貌特征、元素信息和化学结构及分布等信息。

拉曼光谱与扫描电镜联用技术应用于材料表征工作中,将高难度系数的工作化繁为简,得以精准验证。拥有特殊工作性质的刑侦领域接触的样品多种多样,形貌以及成分都非常的复杂,使得表征工作难度增加,此时采用Raman-SEM联用技术变得尤为重要。

使用光学显微镜,很难在形貌复杂且含微量杂质的样品中找到需要检测的物质。此时采用Raman-SEM联用技术,SEM成像能够很容易地找到其中一些可疑的颗粒,借助EDS对可疑颗粒进行元素分析,使用拉曼光谱进行原位测量进一步确定其化学成分。图中案例样品是纺织品中嵌入的有机无机颗粒的混合物,这在刑侦理化检测中经常碰到。通过原位测试发现,纺织物本体为聚酯纤维,颗粒物包含聚四氟乙烯等塑料颗粒。此结果为刑侦破案提供一定的佐证,有效的帮助刑侦人员加快办案进程。

样品的扫描电镜成像(内置为显微镜下光学成像)   

纺织品污染物拉曼成像

雷尼绍拉曼与扫描电镜联用技术被应用于众多领域,在半导体制造过程中,质量监控和保证产量的一个手段是不断对其进行污染物监测。

此领域的污染物一般情况下衬度较差甚至透明,粒径通常会接近光学分辨率的极限,很难观察。相对于光学显微镜,扫描电镜能够较容易分辨出污染物颗粒,而拉曼光谱能够很容易鉴定出颗粒的化学成分。对于难以鉴定的成分,EDS还可以给出元素分析,准确地确定并验证颗粒成分,从而找到污染物的来源。此案例中,通过联用技术确定了电路板上的污染物。

样品的扫描电镜成像  

污染物拉曼成像

当前拉曼技术与其他分析手段,包括扫描电镜、原子力显微镜等之间的联用已经非常成熟,使显微拉曼光谱仪以及其他分析手段各自遇到的困难都通过“一次测量”迎刃而解。

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